O2ppm:≤5
전체 전력 kw:<5>
정제 탈기 시간 분:0~99
유량 m3/h:≥0.5
주파수 Hz:50
유량 L/min:≥0.4
리터/분:15~30 조정 가능
유량 L/min:≥0.4
O2ppm:≤5
수분(ppm):≤3
주파수 Hz:50
유량 L/min:≥0.4
전압 V:380±10%
정제 탈기 시간 분:0~99
정제가스 순도(%):≥99.996
정제 탈기 시간 분:0~99
그래피트 로터 속도 r/min:100-600
O2ppm:≤5
유량 L/min:≥0.4
정제가스 순도(%):≥99.996
흐름 L/분:15~30 조정 가능
전압 V:380±10%
압력 MPa:0.1-0.6 조정 가능
유량 L/min:≥0.4
그래피트 로터 속도 r/min:100-600
흐름 L/분:15~30 조정 가능
정제 탈기 시간 분:0~99
유량 L/min:≥0.4
위상수:3
전체 전력 kw:3
정제가스 순도(%):≥99.996
수분(ppm):≤3
정제 탈기 시간 분:0~99
그래피트 로터 속도 r/min:100-600
전체 전력 kw:3
정제가스 순도(%):≥99.996
