리터/분:15~30 조정 가능
수분(ppm):≤3
정제가스 순도(%):≥99.996
정제가스 순도(%):≥99.996
수분(ppm):≤3
유량 L/min:≥0.4
정제가스 순도(%):≥99.996
주파수 Hz:50
정제 탈기 시간 분:0~99
위상수:3
유량 L/min:≥0.4
전압 V:380±10%
유량 m3/h:≥0.5
압력 MPa:0.1-0.6 조정 가능
유량 L/min:≥0.4
주파수 Hz:50
정제가스 순도(%):≥99.996
압력 MPa:0.1-0.6 조정 가능
유량 m3/h:≥0.5
전압 V:380±10%
유량 L/min:≥0.4
유량 L/min:15~30 조정 가능
전체 전력 kw:3
주파수 Hz:50
그래피트 로터 속도 r/min:100-600
주파수 Hz:50
전체 전력 kw:3
정제 탈기 시간 분:0~99
위상수:3
수분(ppm):≤3
전체 전력 kw:3
수분(ppm):≤3
정제가스 순도(%):≥99.996
전압 V:380±10%
정제 탈기 시간 분:0~99
주파수 Hz:50
